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최근 수정 시각 : 2024-01-16 20:25:51

SECS/GEM


1. 개요2. 분류
2.1. SECS
2.1.1. SECS-I2.1.2. HSMS2.1.3. SECS-II
2.2. GEM
3. 사용 분야4. 관련 기업 및 솔루션

1. 개요

SECS(SEMI Equipment Communications Standard) / GEM(The Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)

반도체 관련 장비 및 재료 업체가 만든 프로토콜로서 반도체 디스플레이 등의 생산 설비의 자동화 지원을 위한 표준화된 프로토콜로서
SECS/GEM을 준수하면 각각의 독립성, 상호운용성, 유연성을 갖춰 통신이 가능해 반도체 팹, OEM 모두 서로 간의 통신 오류를 낮출 수 있다.

2. 분류


파일:SECS:GEM.png

2.1. SECS

SEMI 사에서 지정한 통신 표준 규약으로서 생산 설비 장비와 호스트 간의 통신을 위해 만든 통신 규약
이로 생산 설비와 MES 간의 원활한 데이터 교류 기반으로 자동화가 가능케 되었다.
일반적으로 SECS 프로토콜은 SECS-I, HSMS, SECS-II를 합쳐 부른다.

2.1.1. SECS-I

SECS-I은 비교적 오래된 방식의 통신으로 1980년도에 정의가 되었으며 RS-232를 개입시켜 통신을 송신하는 방법으로 SEMI E4로 정의되어있다.

블록의 구성: A(Block Length_ 1 Byte), B(Header_ 10 Byte), C(Data_ 0~244 Byte), D(Checksum_ 2 Byte)
메시지 트랜잭션: SECS-I 메시지는 블록 단위로 전송되며 ENQ(블록 전송에 대한 요청) > EOT(전송 승인에 대한 응답) > ACK(수신 성공에 대한 의미) or NAK(수신 실패 시)

2.1.2. HSMS

HSMS는 High Speed SECS Message Service의 약자로 이더넷 기반의 TCP/IP 네트워크에 대응하는 사양을 제공합니다.

2.1.3. SECS-II

SECS-I과 HSMS는 모두 실제 통신되는 데이터의 규약인 SECS-II데이터를 RS-232C 이더넷을 통해 전송하기 위한 규약으로 SEMI E5로 정의되어있다.

메시지 구성: 스트림(유사 특성의 메시지 그룹)+펑션(스트림 내 특정한 기능을 갖는 메시지)
SECS-II 데이터 아이템 변수: SV(Status Value, 고유값), DVVAL(Data Value, 특정 이벤트 발생 시 유효값 변수), ECV(Equipment Constant, Host에 의해서 설정 가능한 변수)

2.2. GEM

장비 동작 및 제어를 위한 통신 모델로서 장비를 제어하기 위한 기본 규칙을 의미합니다.
대부분의 경우 TCP/IP(HSMS 표준, SEMI E37 사용)과 RS-232 기반 프로토콜(SECS-I 표준, SEMI E4 사용)을 사용하여 GEM 지원 호스트와 통신합니다.

3. 사용 분야

이 외에도 디스플레이, 전기차 등의 산업에서 많은 장비들의 통신을 도와 사용되고 있습니다.

4. 관련 기업 및 솔루션

SECS/GEM Solution for 200mm Equipments - EIGEMEquipment is a SEMI standards compliant, SECS/GEM software that can be integrated quickly into any semiconductor equipment such as Wafer processing, Metrology, Assembly, Packaging, and Test equipment saving months of software development and cost